通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài)，在陽極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號，經(jīng)探測器收集、放大器放大后，調(diào)制得圖像。鎢燈絲掃描電鏡適合大量的常規(guī)檢測。
1.欲測試的樣品必須符合SEM測試要求，樣品要求盡可能要小且干燥無可揮發(fā)成分、無磁性，多孔類與易潮解類樣品請?zhí)崆罢婵崭稍锾幚恚?/div>
2.樣品必須牢固粘貼于樣品臺上、并吹掃去除未粘貼和不牢固樣品;對不導(dǎo)電塊體類樣品通常需要嗩涂〔Au、C）測試；
3.原則上禁止做在強電子束流下易分解的樣品；
4.試樣如果含有水或者油等易揮發(fā)物質(zhì)必須給出注明；
5.若試樣易燃、易爆、有毒,必須提示，以便采取相應(yīng)的處理措施。
影響鎢燈絲掃描電鏡分辨率的因素？
1、電子束的實際直徑；電子束的直徑減小，分辨率提高，但是實際直徑小到一定程度時，很難激發(fā)出足夠的信號。所以理想的電子束需要尺寸小而且束流大。
2、電子束在試樣中的散射；電子束進(jìn)入試樣后，受到試樣對電子的散射，從而電子束直徑變寬，降低了分辨率，這種散射效應(yīng)取決于加速電壓的大小和試樣本身的性質(zhì)。
3、信號噪聲比。噪聲來源于兩個方面：點噪聲、統(tǒng)計漲落噪聲。提高信噪比可以：
①提高信號電流
②采用長的幀掃描時間
③減少像元數(shù)目，但是會降低圖像的清晰度。故提高信噪比的有效途徑是提高電子束的亮度或適當(dāng)延長幀掃描的時間。
